Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме. Справочное издание

СПРАВОЧНИК

оператора установок по нанесению покрытии в вакууме

Москва «Машиностроение» 1991

ББК 34.52-5-08я2 С74 УДК 621.793.1.06-05

Авторы: А. И. Костржицкий, В. Ф. Карпов, М. П. Кабанченко, О. Н. Соловьева Рецензент Е. 3. Постоловский

Справочник оператора установок по нанесению покрытий в

С74 вакууме /А. И. Костржицкий, В. Ф. Карпов, М. П. Кабанченко и др.—М.: Машиностроение, 1991. — 176 с: ил. ISBN 5-217-00833-4

ПРЕДИСЛОВИЕ

Глава I. ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ И ЭЛЕМЕНТЫ ТЕХНОЛОГИИ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

1.1. Закономерности испарения и конденсации металлов в вакууме

1.2. Техника испарения металлов в вакууме

Глава 2. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

2.1. Основные типы вакуумных насосов

Глава 3. ПОДГОТОВКА ИЗДЕЛИЙ И ВНУТРИКАМЕРНЫХ УСТРОЙСТВ ПЕРЕД НАНЕСЕНИЕМ ПОКРЫТИЙ

Глава 4.

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРИЕМЫ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Глава 5. КОНТРОЛЬ КАЧЕСТВА ПОКРЫТИЙ

5.1. Адгезия и методы ее исследования

Глава 6. НАНЕСЕНИЕ МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

6.1. Методы получения покрытий из сплавов в вакууме

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

ПРЕДМЕТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ

А

Д

3

и

в

г

н к

л м

о

п

т

р

с У

X

ч

э

ОГЛАВЛЕНИЕ

3

Предисловие

Глава 1. Физико-химические основы и элементы технологии нанесения покрытий в вакууме

4 4 9 13 15 18

Глава 2. Оборудование для нанесения покрытий в вакууме

Глава 3. Подготовка изделий и внутрикамерных устройств

перед

покрытия

Глава 4. Технологические приемы нанесения покрытий а вакууме

Глава 5. Контроль качества покрытий

Глава 6. Нанесение многокомпонентных покрытий

Список литературы Предметный указатель

в вакууме

нанесением

СПРАВОЧНОЕ ИЗДАНИЕ

СПРАВОЧНИК ОПЕРАТОРА УСТАНОВОК ПО НАНЕСЕНИЮ ПОКРЫТИИ В ВАКУУМЕ