Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen German

Ulrich Hilleringmann

Mikrosystemtechnik Prozessschritte, Technologien, Anwendungen

Ulrich Hilleringmann

Mikrosystemtechnik Prozessschritte, Technologien, Anwendungen Mit 193 Abbildungen und 13 Tabellen

Bibliografische Information Der Deutschen Bibliothek Die Deutsche Bibliothek verzeichnet diese Publikation in der Deutschen Nationalbibliografie; detaillierte bibliografische Daten sind im Internet über abrufbar.

Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann studierte von 1978 bis 1984 Diplom-Physik, promovierte 1988 an der Universität Dortmund zum Thema „Laser-Rekristallisation von Silizium-Integration von CMOS-Schaltungen auf isolierendem Substrat“ und habilitierte sich 1994, ebenfalls an der Universität Dortmund, mit der Schrift „Integrierte Optik auf Silizium – Ein Beitrag zur Mikrosystemtechnik”. Seit 1999 ist er Professor für das Fachgebiet Sensorik an der Universität Paderborn. Dort liest er Vorlesungen mit den Schwerpunkten Halbleitertechnologie, Halbleiterbauelemente, Messtechnik, Mikrosystemtechnik und Sensorik.

1. Auflage April 2006

Alle Rechte vorbehalten © B.G. Teubner Verlag / GWV Fachverlage GmbH, Wiesbaden 2006 Der B.G. Teubner Verlag ist ein Unternehmen von Springer Science+Business Media. www.teubner.de Das Werk einschließlich aller seiner Teile ist urheberrechtlich geschützt. Jede Verwertung außerhalb der engen Grenzen des Urheberrechtsgesetzes ist ohne Zustimmung des Verlags unzulässig und strafbar. Das gilt insbesondere für Vervielfältigungen, Übersetzungen, Mikroverfilmungen und die Einspeicherung und Verarbeitung in elektronischen Systemen. Die Wiedergabe von Gebrauchsnamen, Handelsnamen, Warenbezeichnungen usw. in diesem Werk berechtigt auch ohne besondere Kennzeichnung nicht zu der Annahme, dass solche Namen im Sinne der Waren- und Markenschutz-Gesetzgebung als frei zu betrachten wären und daher von jedermann benutzt werden dürften. Umschlaggestaltung: Ulrike Weigel, www.CorporateDesignGroup.de Druck und buchbinderische Verarbeitung: Strauss Offsetdruck, Mörlenbach Gedruckt auf säurefreiem und chlorfrei gebleichtem Papier. Printed in Germany ISBN 3-8351-0003 -3



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